环境保护越来越受到人们的关注，特别是雾霾天气越来越多。净化器是环境保护措施之一，如何利用净化器做好环境保护工作，下面讲一下净化工程的控制。

洁净室内温度和湿度的控制。

洁净空间的温度和湿度主要根据工艺要求确定，但在满足工艺要求的情况下，应考虑人的舒适度。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温度和湿度的要求越来越严格。

以后还要列出具体工艺对温度的要求，但作为一般原则，由于加工精度越来越精细，对温度波动范围的要求也越来越小。举例来说，在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，玻璃与硅片作为掩膜材料的热膨胀系数的差异越来越小。

硅片直径100um，温度升高1度，会造成0.24um线性膨胀，因此必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗后，会对产品造成污染，尤其是怕钠的半导体车间，这种车间不能超过25度。

湿度过高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁会结露。如果发生在精密设备或电路中，会造成各种事故。相对湿度在50%时容易生锈。此外，当湿度过高时，硅片表面附着的灰尘会通过空气中的水分子化学吸附在表面，难以去除。

相对湿度越高，附着力越难去除，但相对湿度低于30%时，由于静电的作用，颗粒容易吸附在表面，大量半导体器件容易破坏。硅片生产的温度范围为35-45%。

洁净室内的气压规定。

对于大多数清洁空间来说，为了防止外部污染，需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维护一般应符合以下原则:

1.清洁空间的压力高于非清洁空间的压力。

2.高洁净度空间的压力高于相邻低洁净度空间。

三、相通洁净室之间的门应开向洁净度较高的房间。

压差的维持依赖于新风量，这种新风量必须能够补偿在这种压差下从间隙泄漏的风量。因此，压差的物理意义是泄漏(或渗透)风量通过洁净室各间隙时的阻力。

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