重庆百级无尘车间对洁净度要求极高,设计时需聚焦空气净化、气流组织、建筑布局等核心要点
垂直单向流优先采用垂直单向流形式,配备 FFU(风机过滤单元)吊顶,风速控制在 0.36-0.54m/s,确保气流均匀下降,实现污染物 “活塞式” 排出。FFU 需采用高效过滤器(HEPA,过滤效率≥99.97%@0.3μm)。
三级过滤强化新风经初效(G4)→中效(F8)→高效(H14)三级过滤,回风设置中效过滤,防止二次污染。过滤器需预留冗余安装位,便于在线更换。
密闭性与平滑处理围护结构采用 50mm 厚岩棉夹芯彩钢板,板缝双道硅酮胶密封;墙面与地面、吊顶阴角处做 R≥50mm 圆弧处理,消除积尘死角。
传递窗与缓冲间物料传递设置带紫外线杀菌功能的双层互锁传递窗;人员进出配置风淋室(喷嘴风速≥25m/s,吹淋时间≥30s),相邻区域设缓冲间维持压差梯度。
精准温湿度调节温度控制 22±2℃,湿度 45%-60% RH,采用恒温恒湿空调机组,配备双冷源(冷冻水 + 干冷器)及电极式加湿器,实现 ±0.5℃/±5% RH 精度控制。
压差梯度设计洁净区与相邻区域保持 10Pa 正压差,不同洁净等级区域压差梯度≥5Pa,通过风量调节阀与微压差传感器(精度 ±1Pa)联动控制。
无眩光 LED 照明采用嵌入式洁净专用 LED 灯具,照度≥300lux,色温 4000K,灯具与吊顶平齐密封,避免积尘。
防静电接地地面铺设永久性防静电 PVC 卷材(表面电阻 10⁶-10⁹Ω),设备及管线实施等电位连接,接地电阻≤1Ω。
设备通道优化设计设备吊装口及模块化搬运通道,确保大型设备(如光刻机、冻干机)无尘化安装。
动态监测系统部署尘埃粒子计数器(实时监测 0.5μm 及 5μm 粒子)、浮游菌采样器、温湿度传感器等,数据接入中央监控系统,超标自动报警。