一、洁净室的空气清洁度应进行以下测试。

(一)空态，静态测试。

空气试验：洁净室已完工，净化空气调节系统已正常运行，室内无工艺设备及生产人员进行试验。

静态试验：洁净室净化空调系统已正常运行，工艺设备已安装，室内无生产人员进行试验。

(二)动态测试。

洁净室已在正常生产状态下进行测试。

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声检测可按一般通用、空调的有关规定进行。

二、空态、静态试验。

(一)测试前的准备。

1.彻底清洁洁洁净室及其净化空调系统。

2.高效空气过滤器采用光散射粒子计数器进行泄漏检测。首先，确定高效空气过滤器上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5μm的粉尘粒径应大于或等于3万粒/升。如果不够，可以引入烟雾，然后开始泄漏检测。将粒子计数器（或泄漏检测装置）的粒子计数器（或泄漏检测装置）的采样口，以2-4cm/秒的速度扫描高效空气过滤器整个段的密封胶和安装框架。

当粒子计数器读数为空气出口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分/升(或其穿透率大于0.01‰)时，必须堵漏。

(二)测试内容。

1.总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；

2.洁净室压力值；

3.层流洁净室断面风速及气流流向；

4.清洁工作区域的清洁度；

5.调整测试室内温度、湿度及其控制能力；

6.清洁室内噪音。

(三)清洁工作区空气清洁度测试方法。

光散射粒子计数法或滤膜显微镜计数法应用于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数。

光散射粒子计数法：

1.光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1000-10000级:每次采样量大于或等于0.3升。1万级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室，应使用大流量粒子计数器进行测试；如果没有条件，可以使用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2.采样注意事项：

①采样管必须清洁，连接处严禁泄漏。

②采样管的长度应根据仪器的允许长度。无规定时，不得超过1.5米。

③采样管口的流速应接近洁净室断面的平均风速。试验人员应在采样口的下风侧。

④采样顺序应按含尘浓度由低到高进行。

3.测点布置：

①在清洁工作区作区进行。生产工艺无特殊要求时，取样高度应为离地1米。

②层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5-2.0米，允许粒径大于或等于0.5μm的尘粒数超过一点。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区。

③乱流洁净室可根据洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米，增加3-5个测点。

4.数据整理：

①在测试仪器稳定运行的条件下，每个测点的数据整理应连续三次取样，取其平均值，即该点的实测值。

②确定大于或等于0.5μm的尘粒数：层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点平均值。

(4)正压值测定应采用精度可达0.01mm水柱的微压计。

三、动态测试。

选择具有代表性测点的气流上风向进行清洁工作区域的操作位置，测试方法与空态、静态测试相同。